山东首条12英寸集成电路用大硅片生产线通线

10月16日，山东有研艾斯12英寸集成电路用大硅片产业化项目在德州天衢新区实现通线，这是山东第一条12英寸集成电路用大硅片生产线，标志着山东在完善集成电路产业链建设上迈出了关键一步。该项目全部达产后将形成120万片/年的生产规模。

10月15日，记者在山东有研艾斯生产车间看到，单晶硅棒被切割成厚度仅一毫米直径约305毫米（12英寸）的硅片，再经过倒角、研磨等40-50道工序，最终硅片出厂时最高与最低的平整度误差不能超过0.1微米。山东有研艾斯总经理闫志瑞指着一片硅片向记者介绍，硅片即“晶圆”，相当于芯片的“地基”。与芯片越小科技含量越高的制程工艺不同，硅片是越大则对材料和技术的要求越高。12英寸硅片的面积是8英寸的2.25倍，可使用率是8英寸的2.5倍左右，单片产出的芯片数量和经济效益明显增加。

随着集成电路制程和工艺的发展，硅片趋向大尺寸化和制程精细化，12英寸硅片为当前及未来较长时间内的主流产品。

2018年以来，中国有研科技集团在山东德州投资近百亿元，落地7个项目，已投产4个。2020年，8英寸集成电路用大硅片通线量产，再到今天12英寸集成电路用大硅片产业项目通线，山东德州成为有研在全国投资布局规模最大、业务领域最广的科技成果转化基地。德州天衢新区依托中国有研“集成电路关键材料国家工程研究中心”，打造中国集成电路关键材料（德州）基地，将成为北方最大的集成电路用大硅片生产基地。

企业投资持续“加码”，中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢信心十足，“投资项目进展顺利、运行正常，事实证明当初选择山东、选择德州是正确的。”他表示，德州将有研作为链主企业重点培育，精心建设专业园区，形成了较为完善的半导体产业生态，“有研也将充分发挥头部效应，集聚更多上下游企业落户德州。”

据悉，德州近五年来，半导体产业产值年均增长近20%。山东有研入选省级“雁阵形”产业集群领军企业库，天衢新区电子信息（集成电路）入选山东省战略性新兴产业集群和特色产业集群，已成为全省半导体产业高质量发展的重要增长极，一批高端优质项目聚“链”成“群”，蓬勃发展。

作者：贺莹莹 韩哲